仪器照片

仪器名称

单室磁控溅射系统

型    号

JGP-560型

规    格

≤6.67X10-5 Pa,5靶，3气路

主要功能

溅射多层和单层金属和化合物薄膜

生产厂家

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

购置日期

2017年12月

价    格

420000元(人民币)

放置地点

理科2号楼 C106

负 责 人

甄聪棉